설비현황

INSTITUTE FOR ADVANCED ENGINEERING

플랜트공정개발센터 FCTR 열유동시스템

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  • 특징
    반도체 폐가스 처리용 스크러버의 버닝챔버 축소모델로 내부에는 전열히터가 열원으로 사용되며 분해 후 고온 폐가스의 열량을 회수하기 위해 단열자켓을 배치하여 유입된 폐가스의 온도를 1차적으로 승온시키는 역할을 함

  • 규격

  • 설비위치
    공정개발실험실

  • 담당자
    윤종혁 선임연구원 : 031)330-7273