고등기술연구원

보유기술

Institute for Advanced Engineering

보유기술

INSTITUTE FOR ADVANCED ENGINEERING

신소재공정센터
다공성 분말 성형 기술

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· 기술설명

전 세계 시장 1위를 차지하고 있는 반도체 제조 공정에서, 공정상의 불순물 영향과 2차 생성물로 인한 MFC 오작동 발생으로 메인 공정장비 운전정지 및 고장이 발생하고 있음. 이를 해결하기 위해 금속 가스켓 필터를 사용하고 있으나 국내 판매중인 금속 가스켓 필터는 전량 수입에 의존하고 있음.
기존의 기술은 일축성형(사출)을 사용해 필터 형상에 의해 소결 불량 발생률이 높은 문제점이 있어, 이를 해결하기 위해 Metal Injection Molding 법을 이용한 공정을 개발하였음. 위 공정은 바인더와 금속 분말을 혼합하여 사출공정을 거친 뒤, 탈지/소결 공정을 통해 최종 제품을 제조함.
생산 수율이 높고 불량 발생률이 적은 장점이 있고, 바인더의 양에 따라 기공율등을 제어 할 수 있음.
이를 통해 다양한 분야의 필터 뿐만 아니라 금속 소결 기술에 적용하여 다공성의 금속 소결을 수행할 수 있음.

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성명 : 양재교 수석연구원
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