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이 논문의 연구 히스토리 (5)

2019

반도체 스크러버 열회수 장치 성능분석에 대한 수치해석연구
윤종혁 ,  송형운 ,  정희숙 한국에너지기후변화학회 학술대회 2019.05 학술대회자료
반도체 폐가스 처리용 가스 스크러버의 전열 반응기 내열유동특성에 관한 수치해석 연구
윤종혁 ,  송형운 ,  김영배 대한기계학회 논문집 C권 2019.03 학술저널

2018

반도체 스크러버용 열분해반응기 내 폐가스 거동 특성에 대한 수치해석 연구
윤종혁 ,  김영배 ,  김은주 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2018.04 학술대회자료
반도체 폐가스 처리용 열분해반응기의 입구형상이 열유동 특성에 미치는 영향에 관한 수치해석 연구
윤종혁 ,  김영배 ,  송형운 공업화학 2018.01 학술저널

2017

습식 스크러버 반응기 내 열유동특성에 관한 수치해석 연구
윤종혁 ,  송형운 ,  김은주 외 1명 한국전산유체공학회 학술대회논문집 2017.11 학술대회자료

초록·키워드

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반도체 산업의 발달과 더불어 반도체 생산공정에서 발생되는 다양한 종류의 폐가스 배출을 저감시키기 위한 관심이 집중되고 있다. 이러한 환경유해가스를 저감시키기 위한 장치로서 가스 스크러버 장치가 널리 사용되고 있으며 가스 스크러버 장치를 구성하고 있는 열분해 반응기의 성능향상을 위한 다양한 시도가 이뤄지고 있다. 본 연구에서는 수치해석기법을 기반으로 한 전산유체역학을 이용하여 열분해 반응기 내 열유동 특성을 예측하였고 실험과의 비교분석을 통하여 해석기법을 검증하였다. 온도결과에 대한 해석과 실험은 약 1.27~2.25% 수준의 오차를 보였으며 이를 통해 해석결과의 타당성을 확보하였다. 추가적으로 검증된 해석기법을 이용하여 운전조건 및 반응기 형상 변화에 따른 거동특성을 파악하였다.

With a significant advance in a semiconductor industry, lots of interests have been concentrated on after-treatment system that purify waste gases produced from semiconductor manufacturing process. Currently, a scrubber system has been widely utilized as a after-treatment method for abating the waste gases and various works are being conducted to improve performance of electrical heating reactor, which is component of gas scrubber systems. In the present study, a numerical simulation has been performed using the commercial CFD code (Ansys CFX 17.0) to figure out the thermal and flow characteristics inside the decomposition reactor. In order to validate the numerical method herein, the numerical results of temperature are compared with the experimental data. The average error rates (1.27~2.27%) between those of results were achieved, and numerical results of temperature distribution showed good agreement with the experimental data. Using validated numerical method, the effect of operating conditions and the reactor geometry was also evaluated. The result of the present study can be useful information of the scrubber used in many kinds of industries.
#Semiconductor industry(반도체 산업) #Waste gas(폐가스) #Gas Scrubber(가스 스크러버) #Electrical Heating Reactor(전열 반응기) #Computational Fluid Dynamics(전산유체역학)

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 수치해석
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌(References)

참고문헌 (0)

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김관태 ,  강희석 ,  이대훈 외 1명 한국대기환경학회지(국문) 2013.02
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장성수 ,  한재국 ,  조현일 외 1명 한국가스학회지 2017.12
유동층 반응기를 이용한 촉매분해 스크러버 특성의 선행연구
조동현 ,  조성권 ,  강홍재 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2021.05
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