반도체/디스플레이 공정에서 배출되는 열화학적 안정성이 높은 가스를 처리하기 위한 고효율 ∙ 저에너지형 스크러버 핵심설계기술을 확보하고 있음. 반응챔버 설계기술, 폐열회수장치 설계기술, 입자상물질처리기술 등을 통해 높은 에너지효율, 고내구성, 컴팩트한 차세대 스크러버 설계를 목표로 하고 있음