연구정보

보유기술

INSTITUTE FOR ADVANCED ENGINEERING

지능기계시스템센터
레이저 미세가공용 자동초점장치를 이용한 초점 오차 보상 기술

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· 기술설명

= 공초점 방식의 초정밀급 오토포커스 모듈 개발
= 2D 방식의 에러보상테이블에 의한 초점 오차 보상

· 관련정보

· 추가정보

· 관련보유특허

· 관련보유논문

· 연락처

성명 : 김호상 수석연구원
이메일 : hoskim@iae.re.kr
연락처 : 031-330-7332

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