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INSTITUTE FOR ADVANCED ENGINEERING
지능기계시스템센터
레이저 미세가공용 자동초점장치를 이용한 초점 오차 보상 기술
· 기술설명
= 공초점 방식의 초정밀급 오토포커스 모듈 개발
= 2D 방식의 에러보상테이블에 의한 초점 오차 보상
· 관련정보
· 추가정보
· 관련보유특허
구분
특허명
출원특허
· 관련보유논문
구분
논문명
저널명
· 연락처
성명 :
김호상 수석연구원
이메일 :
hoskim@iae.re.kr
연락처 :
031-330-7332
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