주요용도 : 변위 측정
제조회사 : Zygo

해상도 1.25nm
2축의 변위 및 회전각 측정 가능
Wave length Compensato
rLASER Head - 1SET
VME Chasis(for 5 axis measurement Board) - 1SET
Compact Interferometer(Linear and Angular)
Wave length Compensator
기타 Optics
ZMI-1000 System Manual