설비현황
Institute for Advanced Engineering
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INSTITUTE FOR ADVANCED ENGINEERING
플랜트공정개발센터
20리터급 촉매제조장치
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특징전구체인 페로센을 승화시켜 지지체인 알루미나볼에 증착한 후 반도체분야에서 배출되는 온실가스 중 N2O 저감을 위한 20리터급 촉매제조장치임.
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규격20리터급 촉매제조장치
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설비위치용인본원 가스화실험동
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담당자윤성필 이메일 : spyoon@iae.re.kr 연락처 : 031-330-7854