고등기술연구원

장비현황

Institute for Advanced Engineering

장비현황

INSTITUTE FOR ADVANCED ENGINEERING

지능기계시스템센터
LASER Interferometer (ZMI-1000)

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  • 특징
    주요용도 : 변위 측정
    제조회사 : Zygo

    해상도 1.25nm
    2축의 변위 및 회전각 측정 가능
    Wave length Compensato
    rLASER Head - 1SET
    VME Chasis(for 5 axis measurement Board) - 1SET
    Compact Interferometer(Linear and Angular)
    Wave length Compensator
    기타 Optics
    ZMI-1000 System Manual

  • 규격

  • 담당자